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FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器

産品(pin)時間：2025-12-01

簡要描述：

FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liú)量♋氣體🐕的測量和(hé)過程控制而設計(jì)的。這一系列傳感(gan)器均采用本公司(si)🔅自主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作，适用(yong)于🔱各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhī)可用于㊙️各類管徑(jing)❗，成本低、易🌐安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tong)流量傳感器。

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詳(xiáng)細介紹

産品簡介(jiè)：

FS4001系列小流量氣體(ti)質量流量傳感器(qi) 是專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測量(liàng)和過程控制而設(shè)計的。這💚一系列傳(chuan)感器均采用本公(gong)司自主研發的微(wēi)機電系統（MEMS）流量傳(chuán)感✊芯片來制作，适(shi)用于各類清潔氣(qi)體。*的封📱裝技術使(shi)之可🔞用于各類管(guǎn)徑，成本🤟低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓力(lì)補償，可替代容積(ji)式或📧壓差式的傳(chuán)統流量傳感器。

産(chan)品特點：

FS4001系列(lie)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器 靈敏(min)度高,有小的始動(dong)流量傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)🏃‍♀️計量,無需溫度壓(ya)力補償,保證了傳(chuán)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shàng)實現了多傳感器(qì)集成✍️,使傳感🧡器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器✔️的零點穩(wen)定度高全量🤩程高(gāo)穩定性全量程高(gao)精确度和優良的(de)重複性低功耗低(dī)壓損響應時間快(kuài)
主要參數：

性能參(can)數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhòng)複性	0.25		%讀數
零點輸(shū)出飄移	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(dian)源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wen)度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接(jie)口	可拆式軟管接(jie)頭
校準方式	空氣(qi)（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g

機械尺寸：

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