産品簡(jiǎn)介:
FS4001系列(lie) 氣體流(liu)量監測(ce)傳感器(qì) 是(shì)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhì)而設計(ji)☂️的。這💃🏻一(yi)😄系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(běn)公司自(zi)主研發(fa)💃的微📞機(jī)電系統(tong)( MEMS )流(liu)量傳感(gǎn)芯片來(lai)制作。
産品特(tè)點:
傳感器(qi)靈敏度(du)高
,
有極小(xiao)的始動(dòng)流量
傳感(gan)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liu)量計量(liàng)
,
無(wu)需溫度(du)壓力補(bǔ)償
保證了(le)傳
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-
在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(ji)成
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傳(chuan)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gāo)
全(quan)量程高(gāo)穩定性(xing)
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全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liang)的重複(fú)性
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低(di)壓損
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響應(yīng)時間快(kuai)
主要(yào)參數:
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性(xing)能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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1.0 |
1.8 |
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大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100:1 |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuo)電源 |
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輸(shū)出方式(shi) |
線性,RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
pa |
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大(dà)工作壓(yā)力 |
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MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH(無結(jie)冰、無凝(ning)露) |
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校準方(fāng)式 |
空氣(qì)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa |
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15 |
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