産品時(shí)間:2025-12-01
FS4001系(xi)列實驗(yan)室氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器适(shì)用于各(gè)類清潔(jié)氣㊙️體💁。*的(de)封裝技(ji)術使之(zhī)可用于(yu)各類管(guan)徑,成本(ben)低、易安(ān)裝、不需(xu)要溫度(dù)壓力補(bǔ)償,可替(ti)代容積(jī)式或壓(yā)差式的(de)傳統㊙️流(liu)量傳感(gan)器。
産品(pin)簡介:
FS4001系(xì)列實驗(yàn)室氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器 是專(zhuan)門爲各(gè)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)。這一系(xi)列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhu)研發的(de)微機電(diàn)系統( MEMS )流量(liang)傳感芯(xin)片來制(zhi)作。
FS4001系列(liè)實驗室(shi)氣體流(liu)量傳感(gan)器 适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各💞類(lei)管徑,成(cheng)本🙇♀️低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償,可(kě)替代容(róng)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuan)感器。
産品特(tè)點:
-
傳感器(qi)靈敏度(du)高
,
有極小(xiǎo)的始動(dòng)流量
-
傳感(gǎn)器芯片(pian)采用熱(rè)質量流(liu)量計量(liang)
,
無(wu)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償
,
保證了(le)傳
-
感器的(de)高精度(dù)計量
-
在單(dān)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(jí)成
,
使傳感(gan)器的量(liang)程比大(da)大提高(gāo)
-
傳(chuan)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gao)
-
全(quan)量程高(gāo)穩定性(xìng)
-
全(quan)量程高(gao)精确度(du)和優良(liáng)的重複(fu)性
-
低功耗(hao)
-
低(di)壓損
-
響應(yīng)時間快(kuài)
機(ji)械尺寸(cùn):
主要(yào)參數:
|
性(xing)能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
|
|
通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(chéng)比 |
>100:1 |
|
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|
精 度(du) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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|
零(ling)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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|
輸(shu)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式(shì) |
線性,RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
|
|
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大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
大(dà)工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存(cun)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH(無結(jie)冰、無凝(níng)露) |
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機械(xiè)接口 |
可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tou) |
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校準方(fāng)式 |
空氣(qi)(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa |
|
|
|
重(zhong)量 |
15 |
g |
|
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