産品(pin)時間：2025-12-01
FS4001系列測(cè)量氣體(ti)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qi)體的測(cè)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(běn)公♈司自(zi)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(ti)。
FS4001系(xi)列測量(liang)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器 ）流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuò)。
FS4001系列測(cè)量氣體(ti)流量傳(chuán)感器 适用(yòng)于各類(lei)清潔氣(qì)體。*的封(fēng)裝技術(shu)使之可(kě)用于各(ge)類管徑(jing)🌈，成本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需要(yào)溫度壓(ya)力補償(chang)，可替代(dài)容積式(shì)💃或壓差(chà)式的傳(chuán)🔴統流量(liàng)傳感器(qì)。
産品(pǐn)特點：
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有極(jí)小的始(shi)動流量(liàng)
傳(chuan)感器芯(xin)片采用(yòng)熱質量(liàng)流量計(ji)量
,
無需溫(wen)度壓力(li)補償
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感器(qi)的高精(jīng)度計量(liàng)
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在(zai)單個芯(xin)片上實(shí)現了多(duo)傳感器(qì)集成
,
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傳感器(qi)的零點(dian)穩定度(dù)高
全量程(chéng)高穩定(dìng)性
全量程(cheng)高精确(que)度和優(you)良的重(zhòng)複性
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低壓損(sǔn)
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單(dan)位 |
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通 徑(jìng) |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
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%讀(du)數 |
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零點(diǎn)輸出飄(piāo)移 |
±30 |
mV |
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±0.12 |
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響(xiǎng)應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線(xiàn)性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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350 |
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大工(gong)作壓力(li) |
0.5 |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chu)溫度 |
oC |
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工(gōng)作濕度(du) |
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可拆(chāi)式軟管(guǎn)接頭 |
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校(xiao)準方式(shi) |
空氣（或(huò)其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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