流(liu)量測量技(ji)術之 微小流量(liang) 的測(cè)量     
半(ban)導體制造(zao)業、生物工(gōng)程、精細化(huà)工等的興(xing)起，使流量(liang)😘測量向低(dī)端延伸，小(xiao)流量計流(liú)量的要求(qiú)在上世紀(jì) 80 ∽ 90 年代凸顯(xiǎn)起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚(shang)無*的定義(yì)和界限，小(xiao)流量因應(yīng)用領域而(er)異是一🤟個(gè)模⛱️糊🔱的概(gai)念。管道小(xiao)流量測量(liàng)體現于管(guǎn)徑🔴小和流(liu)速低兩個(gè)層次，就☂️流(liu)程工業而(er)言，習慣上(shang) DN10 甚至(zhi) DN15 以下(xia)管徑流量(liàng)測量稱之(zhi)小流量測(ce)量，通常其(qí)流量值液(ye)體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀(yi)表滿度流(liú)量時的流(liu)速低于 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小(xiao)流量測量(liàng)技術節流(liú)差壓 ( 層流 ) 法、浮子法(fa)和容積法(fǎ)等有了的(de)改進，新測(cè)量技術如(rú)超聲👅法、熱(rè)法、科裏奧(ào)利法等也(ye)有成效地(dì)應于液體(tǐ)和氣體小(xiǎo)🚩流量測量(liang)。
2 、特點(diǎn)
微小(xiǎo)流量與一(yi)般流量測(ce)量相比較(jiao)，具有以下(xià)特點。
1) 雷諾數低(di)
一般(bān)管道流動(dong)均爲紊流(liu)流動，流量(liàng)儀表也是(shì)針對紊流(liú)流動㊙️态✉️設(she)計的，而小(xiǎo)流量儀表(biǎo)因管徑小(xiǎo)常處于層(ceng)流流動 ( 例如管(guan)内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liú) / 紊流(liú)過渡區流(liú)态流動，小(xiǎo)流量測量(liang)受使用中(zhong)流體黏🌈度(dù)變✔️化影響(xiǎng)頗大。
2) 要用實際(ji)使用流體(tǐ)校準
液體流量(liàng)儀表一般(ban)用水校準(zhǔn)，氣體用空(kong)氣校準。若(ruò)知📞道實際(ji)測量流體(ti)與校準流(liú)體間某些(xiē)物性不同(tóng)✨對示值有(yǒu)規律變化(hua)時，中大管(guan)徑流量儀(yí)表常以适(shi)當系數修(xiu)正。但有些(xie)小❗流量儀(yi)表受黏度(dù)等流體物(wù)性影響大(da)，須以實際(ji)使用流體(tǐ)校準。所幸(xing)流量小，用(yòng)🙇‍♀️實際使用(yòng)流體校準(zhun)難度不大(dà)，但在作有(yǒu)害性流體(ti)校準時應(yīng)注意安全(quan)和環境污(wū)染。
3) 要(yao)求測量時(shí)防止污染(ran)流體
若測量潔(jie)淨氣體和(he)純水常不(bu)允許接觸(chu)流體的儀(yí)表🈲零件材(cái)料🔆析出離(lí)子，例如半(bàn)導體制備(bèi)中儀表不(bú)能用金屬(shu)和玻璃制(zhi)成，隻能用(yong)塑料。流體(tǐ)中也不允(yun)許混入活(huó)動件的磨(mo)蝕塵粒。流(liu)量儀表流(liú)通通道要(yao)❌盡可能簡(jian)單，不應有(yǒu)🌏潴留 ( 指液體在(zài)體内不正(zheng)常地聚集(jí)停留 ) 部位，防止(zhǐ)潴留介質(zhi)變質。
4) 氣泡和塵(chen)埃附着的(de)影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加(jia)，液體中微(wēi)細氣泡易(yi)在管系流(liú)動過🌂程中(zhong)積♻️聚變大(da)，使測量時(shi)指示不穩(wen)，度下降。流(liú)體中塵埃(ai)附着測量(liàng)元件也要(yao)影響測量(liang)值，例如浮(fú)子流量計(jì)的浮子上(shàng)沉積有肉(rou)📧眼覺察不(bú)出的附着(zhe)❓層也會影(yǐng)響示值。
5) 流量儀(yi)表品種使(shi)用上受到(dao)一定限制(zhi)
在衆(zhōng)多測量原(yuan)理流量儀(yi)表中，因各(gè)種原因小(xiao)流量應用(yòng)受到一些(xiē)限制，當前(qián)能應用于(yu)小流量的(de)品種如表(biao)格所示